Towards greener nanoimprint processes - HAL-SDE - Sciences de l'environnement
Poster De Conférence Année : 2022

Towards greener nanoimprint processes

Résumé

The purpose of this work is to develop nano-imprint processes using “greener” polymers. PLA, a bio-sourced, bio-degradable and bio-compatible polymer, will be directly nano-structured via a thermal nano-imprint process (T-NIL). PVA, a synthetic bio-compatible and bio-degradable polymer, will be used as water-soluble sacrificial layers for lift-off process.
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Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-03997402 , version 1 (20-02-2023)

Identifiants

Citer

Clothilde Péra, Jean Baptiste Doucet, Franck Carcenac, Dr Emmanuelle. Towards greener nanoimprint processes. 48th international conference on Micro and Nano Engineering - Eurosensors (MNE-ES), Sep 2022, Leuven, Belgium. 2022, ⟨10.1016/S0079-⟩. ⟨hal-03997402⟩
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